USHIO牛尾簽署全球技術“半導體光陰極電子束”的代理協議

投資名古屋大學創業(ye) 公司Photo electron Soul，加強半導體(ti) 檢測業(ye) 務

Ushio Inc.（總部：東(dong) 京，總裁兼執行官：Koji Naito，以下簡稱“Ushio"）特此宣布，我們(men) 已投資擁有下一代電子束生成技術的Photo electron Soul Inc.（執行官：鈴木孝之，以下簡稱“PeS"），並簽署了安裝在電子束半導體(ti) 晶圓圖案檢測設備中的半導體(ti) 光電陰極單電子束生成係統（該係統）的代理協議。

PeS是名古屋大學成立於(yu) 2015年的初創公司，是世界上一家成功開發創新工業(ye) 半導體(ti) 光電陰極電子束係統的公司。采用半導體(ti) 光電陰極技術的電子束*1PeS旗下作為(wei) 明亮光源或加工工具備受關(guan) 注，有望用於(yu) 半導體(ti) 檢測、電子顯微鏡和3D打印等應用。

檢測時間長導致產(chan) 量低，檢測精度低導致良率低，這些都是挑戰，特別是在半導體(ti) 製造工藝的檢測中，近年來小型化和多層化的進步令人矚目。為(wei) 了應對這些挑戰，Ushio專(zhuan) 注於(yu) PeS擁有的這個(ge) 係統，這一次，我們(men) 投資並獲得了銷售權。因此，從(cong) 今年1月起，我們(men) 利用牛尾的半導體(ti) 檢查設備光源全球銷售渠道和各種半導體(ti) 製造設備的全球維護係統，開始針對半導體(ti) 製造檢查設備製造商和半導體(ti) 設備製造商的銷售活動。

Ushio將繼續通過我們(men) 的光技術，提供克服工業(ye) 流程技術創新瓶頸的光解決(jue) 方案，包括推進半導體(ti) 小型化，為(wei) 創造一個(ge) 方便舒適的社會(hui) 做出貢獻。

*<> 電子束生成技術之一，通過照射材料上的光來利用光能提取電子束。

■半導體(ti) 光電陰極電子束（圖）

通過照射激光在半導體(ti) 光電陰極上產(chan) 生電子束
■PeS電子束的主要特點 ・亮度是傳(chuan) 統熱場發射電子束的十倍以上

・數字選擇性電子束TM係列（DSeB） 函數*2
・多可變形電子束
・即使在長時間運行中也能保持高正常運行時間和出色的輸出穩定性 

*2：快速激光開/關(guan) 功能，可在特定區域在電子束照射和非照射之間切換。