日本USHIO牛尾紫外線短弧氙燈

3線(436nm)·405nm，365nm)的有效利用而開發，是具有長壽命、穩定的輻射照度的高亮度光源。由於電弧尺寸非常接近點光源，因此光學係統中光的集中·易於擴散，並提供均勻的照度分布。用途半遵體回路形成用光源液晶圖案形成用光源濾色器圖案形成用光源普林卜基板電路形成用光源MEMS圖案形成用光源堂光顯微鏡用光源紫外線硬化用光源其他新曝光用途

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