優勢品牌HONDA本多石英振動體清洗機

石英振動體類型

2006年，一台石英振動體(ti) 超聲清洗裝置投入實際使用。
在這種方法中，通過在石英振動體(ti) 上疊加超聲波對半導體(ti) 晶圓進行清洗。
與(yu) 批量清洗和流水清洗相比，可以減少化學品的使用量，由於(yu) 隻有石英玻璃與(yu) 液體(ti) 接觸，沒有墊片等橡膠材料與(yu) 液體(ti) 接觸，因此能保持較高的清潔度。
石英振動體(ti) 有不同的形狀，以適應不同的用途，能夠根據需要進行有效的清洗，如低損傷(shang) 清洗、大麵積清洗、斜麵（邊緣表麵）和缺口（晶圓邊緣表麵的缺口）的清洗等。

優勢品牌HONDA本多石英振動體清洗機

特長

對具有細微結構的晶片進行低損傷(shang) 清洗

■通過在石英振動元件上疊加超聲波對半導體(ti) 晶片進行清洗。
將超聲波振動從(cong) 石英振動元件通過化學溶液傳(chuan) 播到半導體(ti) 晶片上，接觸區的化學溶液振動，加速去除表麵汙染。
■清潔度高，對半導體(ti) 晶圓的損害最小。
與(yu) 使用橡膠材料（如墊片）的設備相比，使用石英與(yu) 化學溶液接觸，可以確保清潔，而不會(hui) 有橡膠溶出。
■震蕩器冷卻功能通過用氣體(ti) （如氮氣）冷卻震蕩器，可以實現穩定的連續工作，沒有頻率波動。
冷卻還能確保沒有溫度的突然變化，從(cong) 而延長使用壽命。

規格

■發振器

●可變的輸出範圍：0W到12W（振動體(ti) 的允許輸入：當使用空氣吹掃冷卻時，連續10W）。
●周圍操作環境：溫度：15至35℃，濕度：10至85%。
●外部驅動觸點額定值：超聲波振蕩控製（控製側(ce) ）觸點輸入：12 V DC 16 mA min.
　報警輸出（主單元）觸點容量：24 V DC 0.5 A
■附屬電纜：電源線（100V為(wei) 2米/200V為(wei) 3米），控製線（5米）x4